蛍光X線分析装置

物質にX線を照射して発生する蛍光X線のエネルギーとその強度を解析することで、試料を構成する元素やその含有量を調べる装置です。高エネルギーのX線が物質に当たると、内殻の電子がX線を吸収して原子の外に飛び出します。この後、高いエネルギー準位にある電子が低いエネルギー準位へと変化する過程で、その準位間のエネルギーに相当するX線が発生します。このX線のエネルギーや発生する効率が、元素に固有であるため試料に含まれる元素を分析することができます。サンプルの状態は液体と固体のどちらも測定が可能で、幅広い元素(ホウ素からウランまで)を分析することでできます。