卓上走査電子顕微鏡

省スペース化により卓上設置を可能とした走査電子顕微鏡(SEM)です。低倍率から100,000倍までの観察が可能です。導電性試料が観察/分析できる高真空モードと、絶縁体試料が無処理で観察/分析できる低真空モードを備えています。また、電子ビーム照射時に発生する特性X線を用いたエネルギー分散型X線分析(EDS)により、元素分析も可能です。